最近几年，在我国半导体设备企业的努力下，半导体设备不断通过各大晶圆厂的产线验证，进入了商业化供货阶段。半导体设备国产替代的黄金浪潮已然开启。半导体设备作为半导体产业梦的基石，加速发展势在必行。针对半导体缺陷检测应用场景，沃德普推出了专用解决方案——“鸿鹄”显微自动对焦成像系统。
“鸿鹄”显微自动对焦成像系统
（一）产品特点
◆单/双光路系统可选，最大支持像方40mm，完美适配8K/5um和65M相机
◆集成同轴激光追焦系统，可实现对⾼速运动成像实时对焦
◆可选配高速图像对焦系统，解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题
◆内置明场照明，可保证低倍⾄⾼倍全视野照明均匀
◆⾼精度⾼稳定性电动物镜转换器
◆可选对应像⽅40mm的⼤视野⻬焦距95mmAPO物镜
◆可选配冷光源暗场照明系统
（二）案例应用
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| SiC | |
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| 玻璃基板 | |
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| 有图晶圆 | |
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| 硅基硅片 | |
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| Mini LED | |
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| 屏幕驱动IC芯片 | |
2023-11-03
