选型配置方案
高亮光纤冷光源
主机出光口照度超4500万lx
支持外部触发,控制光源频闪发光
支持网口通讯；支持PLC或控制卡I/O控制光源亮度
光纤可按需定制长度和角度
应用案例
Mini LED检测
| 检测要求 | 成像方案（面描述） | |||||
| 缺陷类型 | 精度 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 脏污、氧化等 | 1um | 6500万彩色 | 5X | 同轴照明 | 0.7um | 58.4.4mm |
SiC缺陷检测
| 检测要求 | 成像方案（面描述） | |||||
| 缺陷类型 | 精度 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 移位 | 0.5um | 2500万黑白 | 10X | 同轴照明 | 0.45um | 2.3*2.3mm |
导电粒子检测
| 检测要求 | 成像方案（线描述） | |||||
| 粒子大小 | 节拍 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 1-3um | 3.5s/pcs | 8k/5um | 10X | 同轴照明 | 0.5um | 3.6mm |
双光路系列应用于有图晶圆缺陷检测
| 检测要求成像方案（线描述） | Review方案（面扫描） | ||||||||
| 粒子大小 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 | 相机 | 物镜 | 照明 | 精度 | 视野 |
| 1-3um | 3.5s/pcs | 同轴照明 | 8k/5um | 7.2mm | 1200万高速相机 | 10X | 同轴光源 | 0.5um | 1.4*1mm |
